尺寸测量、电脑辅助验证（CAV）/逆向工程、齿轮检测、轴类零件形位公差检测（校准级）、表面粗糙度检测、3D微观形貌检测及分析。
一、白光干涉测量仪设备基于Zygo®白光轮廓仪及特殊子孔径拼接技术(测量子孔径时,倾斜和旋转样品,确保测量光轴垂直于被测表面,zui大程度上减小误差),以非接触式,检测小型摄像头中非球面透镜。
设备特色：超高精密白光干涉测量、全方位3D形貌特征测量、5轴连动控制,避免角度过大测量误差、气浮减震腿,减少环境振动影响。
功能非接触式三维干涉测量仪技术
连续扫描干涉图形拼接法能力
光学表面形态和纹理计算光学表面偏离设计式计算
曲面顶点与基准特征的关系计算轴数
X，Y，Z，P，R，C镜头
光源单点白光LED物镜2.5X（关系测量），20X（光学表面测量）变焦
自动3位变焦0.5X，0.75X，1.5X分辨率1048*1048分辨率
Z0.1nmXY0.42μm隔振装置
气动隔离测量范围
旋转对称的球形或非球面透镜以及透镜模仁，
其形状测量为CA＜8mm，关系测量为CA＜
6.4mm
设备基于激光干涉原理与原子间力探头,以低测力接触式测量,检测中小型摄像头中非球面透镜与注塑模仁的2D形貌及相关尺寸参数。
设备特色：超高精密激光干涉+原子间力探头测量、曲面轮廓快速扫描测量、可反推曲面设计式用于超精密切削补正加工。
功能接触式三维扫描测量仪
技术
激光干涉，原子间力探头
能力
光学表面形态计算
光学表面偏离设计式计算
曲面与基准面的关系计算
轴数
3轴（X，Y，Z）
探头
类型原子间力
测量力0.1mN--0.2mN（10mgf-20mgf）
测针大小
陶瓷：R0.5mm金刚石：R2μm
测量精度
测量面
倾斜角
≤30:±0.05μm
≤45:±0.06μm
≤60:±0.07μm
≤70:±0.10μm
测量zui大角75度
测量范围
30*30*20mm（X*Y*Z）
测量速度
0.005-5mm/秒
数据采样大小
zui高：2000点/秒
zui大测量点：1000000点
本机型为落地式一体成型花岗岩鸠尾槽,量测台中央驱动设计,三轴预压式精密空气轴承,气冷式DCMotor马达设计。
量测范围：600mmX, 400mmY, 300mmZ
外观尺寸：1774mm W, 1300mm D, 2650mm H
精度：E1：( 0.5 + L / 900 ) µm、E2：( 0.7 + L / 600 ) µm、E3：(1.5 + L / 500 ) µm
机台重量：1650kg
工作平台：以铝合金制成,台面上为精密强化玻璃。
轴承：采用预压式精密空气轴承
Z轴：气压式平衡功能,可平衡Z轴。
材质：三轴均采用花岗岩材质,稳定性高。
操控方式：游戏杆控制(MJC),计算机直控(DCC)。
量测系统：超高分辨率光学尺0.05 µm
位移速度：100mm/sec
加速度: 250mm/sec*2
电力：220VAC ±10% / 50Hz 4Face
测头：
Werth CCD 10X Fixed Lens自动对焦镜头:
1.专利设计,重复性佳。
2.高解析设计快速自动对焦。
3.256色灰阶判定, 1/2 “ or 1/3 “ CCD CAMERA。
4.所有取点为扫瞄模式,使得量测值更精 准。
5.光源部份(白色LED系统)正面光 底光3D ( 4向环光)。
6.专利游戏杆系统,可直接由游戏杆调整钮,调整所需之光源。
雷尼绍 SP80接触式扫描测头：
1.测头分辨率：0.02um
2.精度：E:0.5+L/350，P：0.6um，THP：1.5um
3.使用ø0.5~5.0mm测针
Werth WFP光纤测头：
1.基于图像处理系统的接触式探头,通过接触式测量更小的特征
2.使用ø0.1~0.17mm测针
PMM-C系列是采用封闭框架设计固定龙门的高速度高精度三坐标测量机，花岗岩材料的工作台可移动，底座是整体燕尾式导轨设计。工作台和导轨之间是预载荷空气轴承，陶瓷Z轴配有精密导向系统。这种结构形式可以zui大限度地保证机器的整体刚性以及方便地装卸工件。
量测范围：1200 mm X, 1000 mm Y, 700 mmZ
精度：长度测量的示值误差：0.6 + L/600 [µm]
探测误差：0.6 µm
扫描测头精度：1.5 mm at 72sec 分辨率：0.05 µm
环境要求：温度- 20 ± ℃ 0.5 ℃ ,0.5 K/h, 0.5 K/m, 0.5K/d
材质：三轴均采用花岗岩材质,稳定性高 软件系统：PCDMIS
zui大定位移速度：400mm/sec zui大加速度：3000mm/sec*2
主机Machine
1.PMM-C 700P固定龙门式高精度三坐标测量机主机
2.性能优越的微处理器控制系统
3.带10个温度传感器的自动温度补偿
4.振动隔离装置
TRAX三维测头:
1.超高精度动态单点探测
2.触测后﹐进行空间向量测量
3.超高精度和重复性
4.扫描测头偏向范围大
5.接触前无机械预偏差
6.模拟测头设计
Talyrond365代表了测量技术的一个重大的突破。所有轴精密玻璃光栅和精密位移控制的结合，以及低的仪器噪声和高数据密度，使得该仪器具备形状和表面粗糙度的测量能力。
工作台直径：350mm 横臂行程：200mm
立柱行程：300mm 主轴：超高精密空气轴承主轴
圆度误差：±(0.02+0.0003H)μm 轴向误差：±(0.02+0.0003R)μm
采样数据点：zui多18000
软件：Ultra软件可以把表面粗糙度和圆度分析完美的结合
Ra：±3% 金刚石测针大小：R5µm
操作温度：10ºC至35ºC 操作湿度：30%至80%相对不结露
设备特征：全自动标定、全自动调心、调平、全自动跟踪模式、全自动三位绘制