发射组件发送电子束后，偏转组件偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑，采集组件检测每个束斑穿过接收孔后的电流，从而获取束斑的束流值。在本发明中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明的实施例提供的电子束采集装置的结构示意图；
图2为本发明的实施例提供的电子束采集装置的法拉第筒传感器的爆炸图；
图3为本发明的实施例提供的电子束采集装置的在图2中iii处的局部放大图；
图4为本发明的实施例提供的电子束采集装置的束斑在接收件上的扫描路径；
图5为本发明的实施例提供的电子束采集装置的采集组件的检测电路的电路图。
图标：100-电子束采集装置；110-发射组件；120-偏转组件；130-接收组件；132-接收孔；134-固定件；136-接收件；138-开口；140-采集组件；142-绝缘部；144-收集电极；146-检测电路；1462-放大器；148-过渡孔；150-固定架；152-固定槽；154-连接孔；156-散热槽；158-导流槽；160-安装架；170-驱动件；180-连接架；190-散热件；192-进水口；194-出水口；200-法拉第筒传感器。
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